“老章你来的正好,下面的工作就要移交给你喽。”胡明镇看了看光刻机的工作台,准备把朱雀·酷睿I芯片的流片制程工序移交出去。相对而言,主管生产的章钕京在这方面是专家,他来主持后续的制程工艺流程最合适。
“没问题!不就是还剩7只硅晶圆片么,我二十分钟搞定光刻流程。”章钕京挤眉弄眼的来到胡明镇的身旁。
他扫了一眼工作台,又瞥了一下光刻机的工作站显示屏。“哎哟,这台光刻机的功效很不错嘛,平均光刻时间是95.4秒,比老米的光刻机要快了7.5秒钟。”他随后咂砸舌头,半开玩笑的拿胡明镇开心。
事实上,章钕京也是团队成员,对这台国产KrF光刻机的速度并不满意。他们在设计这台光刻机的时候,曾经准备计划75秒钟完成一只硅晶圆片的光刻曝光流程。现在的功效暴跌,还需要做一些制程工艺的调整才行。
可刘教授、董教授和单教授等人都是精通理论知识的外行人,见章钕京这么说话,于是都纷纷点头附和着。
“章教授说得对,我们这台光刻机的速度只要超过老米的产品就是胜利!”
“从光刻曝光的速度上来说,我们这台光刻机的技术已经站在世界的巅峰。”
“老胡快来拍照,不要搞得像小女儿家似的。你是核心人物,应该坐在中间。”
董教授一把拽着胡明镇,直接就朝过合影的位置那边拖过去。
他们这些人不了解胡明镇和章钕京等人追求,对目前的结果其实已经非常满意。
从内心来说,他们这帮院士们已经认可这台国产第三代光刻机的性能。只要等朱雀·酷睿1芯片流片成功,质量检测报告一出来,刘教授等人就会在论证报告上签字确认了。
而胡明镇此时却还在搜肠刮肚的思考着,寻找这台光刻机速度减慢的原因。“老章,你认为是什么地方出了问题?”在前去拍照留念的路上,他微皱着眉头问章钕京。
“什么地方都有问题。比如说合金材料的成分、机械加工精度、机械装配精度、激光光路系统的配合精度…等等等等。方方面面的因素综合到一起,也就导致我们这台光刻机无法提速,否则就会出现成品率不达标的结果。”
章钕京收起玩世不恭的模样,也微皱眉头在跟胡明镇做技术分析。
哎……看来我们还是要重新设计一台光刻机才行喽!
“只能这么办!就是不知道许董会不会支持我们的工作。”章钕京拍了拍胡明镇的后背,微微一叹。
就在这时,负责操作光刻机工作站的技术员高声汇报第三片硅晶圆片的验片数据结果,“报告胡总、章总,第三片硅晶圆片的光刻成品率超过98.23%,出现一颗废品芯片。”
“额?激光光源有点不稳定?”
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